903141 - - - для перевірки напівпровідникових пластин або пристроїв (включаючи інтегральні схеми) або для перевірки фотомасок або фотошаблонів, які використовуються у виробництві напівпровідникових приладів (включаючи інтегральні схеми)
Optical instruments and appliances; for inspecting semiconductor wafers or devices or for inspecting photomasks or reticles used in manufacturing semiconductor devices, n.e.c. in chapter 90