9012100010: - - електронні мікроскопи, споряджені обладнанням, яке спеціально призначене для маніпулювання і переміщення напівпровідникових пластин або фотошаблонів
9012100090: - - інші
901290 - - частини і приладдя:
Microscopes (excluding optical microscopes); diffraction apparatus; parts and accessories